儀器型號

GT-CNC-1012D

GT-CNC-1016D

GT-CNC-1218D

GT-CNC-1525D

工作臺

XY軸行程

1000/1200

1000/1600

1200/1800

1500/2500

Z軸行程

有效空間245mm,調焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

1200/1400

1200/1800

1400/2000

1700/2700

玻璃臺面尺寸

1100*1300

1100*1700

1300*1900

1600*2600

傳動型式

X/Y/Z軸精密線性導軌/研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅動
系統

光學尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

測量精度：≤3UM+L/200 重復精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三軸中國臺灣高性能伺服電機，雙重閉環控制系統

影像系統

攝像機：SONY 1/3″CCD 攝像機放大倍率30-230X

鏡頭：NAV高清變倍鏡頭/連續放大倍率0.7-4.5X
可選配0.5X物鏡時，總放大倍率15-115X
可選配2X物鏡時，總放大倍率60-460X

光源系統

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調

儀器外形尺寸（L*W*H）

1750MM*2100MM*1650MM

1750MM*2650MM*1650MM

2000MM*2850MM*1650MM

2400MM*3500MM*1650MM

儀器重量（KG）

2800

3600

4500

5500